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PEC-KUMATA
(生産技術コンサルティングー熊田茂雄)
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スパッタリングについて
工具等のコーティングや、半導体や液晶、光学素子等の機能膜形成に用いられているスパッタリング( sputtering )は、物理的気相成長法(PVD)の一種で、真空中でプラズマを用いて成膜する技術です。 スパッタリングは、その...
固有技術教育
shigeokumata
2024年3月13日
読了時間: 2分
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